Mittelfrequenz-Sputter-Netzteil der MSB-Serie

Kurze Beschreibung:

Die MSB-Serie basiert auf ihrer hervorragenden Wellenformmodulationstechnologie zur Ausgabe von Gleichstrom, Gleichstromimpulsen, bidirektionalen Rechteckwellen, bidirektionalen Trapezwellen und anderen Wellenformen.Das Produkt verfügt über eine einstellbare Ausgangswellenform, eine wählbare Ausgangsfrequenz, einen einstellbaren Arbeitszyklus und eine präzise Leistungssteuerung.Sowie geringe Energiespeicherung und schnelle Lichtbogenreaktion.Bieten Sie eine bequeme und präzise Steuerung des Beschichtungsprozesses.Die Produkte werden hauptsächlich in verschiedenen Dünnschichtherstellungsprozessen, in der Solarzellenindustrie und in der Vakuumbeschichtungsindustrie eingesetzt.Anwendungsprozesse: Magnetron-Sputterverfahren, Twin-Target-Sputtern und Rohr-PECVD.

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Merkmale

Rack-Installation
Schnelle Lichtbogenreaktion, Reaktionszeit <100 ns
Niedrigenergiespeicherung, <0,5 mJ/KW
Durch die mehrphasige interleaved PFC-Technologie beträgt der Leistungsfaktor bis zu 0,95
Es können verschiedene Ausgabemodi, kontinuierlicher und intermittierender Modus ausgewählt werden
Die Wechselrichterschaltung nutzt die Soft-Switching-Technologie der dritten Generation und nutzt den Halbleiter SiC der dritten Generation als Leistungsgerät mit hervorragendem Wirkungsgrad
Präzise Lichtbogenerkennung, mehrere Überwachungsmethoden verfügbar