Leistungsregler der TPM5-Serie
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Leistungsregler der TPM5-Serie
Der Leistungsregler der TPM5-Serie basiert auf dem Moduldesign und integriert bis zu sechs Schaltkreise. Die Produkte werden hauptsächlich in Diffusionsöfen, PECVD-Anlagen, Epitaxieöfen usw. eingesetzt.