Leistungsregler der TPM5-Serie
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Leistungsregler der TPM5-Serie
Der Leistungsregler der TPM5-Serie übernimmt die Idee des Moduldesigns und integriert bis zu 6 Schaltkreise im Inneren. Die Produkte werden hauptsächlich in Diffusionsöfen, PECVD, Epitaxieöfen usw. verwendet.