Sputter-Stromversorgung der MSD-Serie

Kurze Beschreibung:

Das DC-Sputternetzteil der MSD-Serie nutzt das DC-Kernsteuerungssystem des Unternehmens in Kombination mit einem hervorragenden Lichtbogenverarbeitungsschema, sodass das Produkt eine sehr stabile Leistung, hohe Produktzuverlässigkeit, geringe Lichtbogenschäden und gute Prozesswiederholbarkeit aufweist. Die Anzeigeoberfläche ist in Chinesisch und Englisch verfügbar und einfach zu bedienen.

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Merkmale

● Rack-Montage

● Schnelle Lichtbogenreaktion, Reaktionszeit <100 ns

● Untere Energiespeicherung, <1 mJ/kW

● Kompakte Installationsstruktur, 3U-Standardgehäuse

● Chinesisch/Englische Anzeigeoberfläche, einfach zu bedienen

● Präzise Steuerung

● Großes Leistungsspektrum

● Perfekte Schutzfunktion

Produktdetail

Eingang	Eingangsspannung: 3AC380V±10%
Eingang	Leistung: 20 kW, 30 kW Eingangsfrequenz: 50 Hz/60 Hz
Ausgabe	Max. Ausgangsspannung: 800V
	Max. Ausgangsstrom: 50A, 75A
	Ausgangsstromwelligkeit: ≤3 % rms
	Welligkeit der Ausgangsspannung: ≤2 % rms
Technischer Index	Zündspannung: 1000V / 1200V optional
	Umwandlungseffizienz: 95 %
	Lichtbogen-Ausschaltzeit: ＜100 ns
	Kommunikationsschnittstelle: Standard RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet und EtherCAT sind optional)
	Abmessungen (HBT) mm: 132482560: 176482700
	Kühlmodus: Luftkühlung
Hinweis: Das Produkt wird ständig weiterentwickelt und die Leistung verbessert. Diese Parameterbeschreibung dient nur als Referenz.