Sputter-Netzteil der MSD-Serie
Merkmale
● Rack-Installation
● Schnelle Lichtbogenreaktion, Reaktionszeit <100 ns
● Energiespeicher unten, <1mJ/kW
● Kompakte Installationsstruktur, 3U-Standardgehäuse
● Chinesisch/Englische Display-Schnittstelle, einfach zu bedienen
● Präzise Steuerung
● Breites Leistungsspektrum
● Perfekte Schutzfunktion
Produktdetail
Eingang | Eingangsspannung: 3AC380V±10% |
Leistung: 20 kW, 30 kW Eingangsfrequenz: 50 Hz/60 Hz | |
Ausgabe | Max.Ausgangsspannung: 800V |
Max.Ausgangsstrom: 50A, 75A | |
Ausgangsstromwelligkeit: ≤3 % rms | |
Ausgangsspannungswelligkeit: ≤2 % rms | |
Technischer Index | Zündspannung: 1000V / 1200V optional |
Umwandlungseffizienz: 95 % | |
Lichtbogen-Aus-Zeit: <100 ns | |
Kommunikationsschnittstelle: Standard RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet und EtherCAT sind optional) | |
Abmessungen (H*B*T) mm: 132*482*560: 176*482*700 | |
Kühlmodus: Luftkühlung | |
Hinweis: Das Produkt wird weiterhin innoviert und die Leistung verbessert sich weiter.Diese Parameterbeschreibung dient nur als Referenz. |
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