Sputter-Stromversorgung
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Mittelfrequenz-Sputternetzteil der MSB-Serie
Die HF-Stromversorgung der RHH-Serie basiert auf ausgereifter HF-Technologie und bietet Kunden HF-Stromversorgungen mit höherer Leistung, höherer Präzision und schneller Reaktion. Mit einstellbarer Phase, Impulssteuerung, digitaler Abstimmung und weiteren Funktionen. Anwendungsbereiche: Photovoltaikindustrie, Flachbildschirmindustrie, Halbleiterindustrie, chemische Industrie, Labor, wissenschaftliche Forschung, Fertigung usw.
Anwendbare Verfahren: plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), Plasmaätzen, Plasmareinigung, Hochfrequenz-Ionenquelle, Plasmadiffusion, Plasmapolymerisationssputtern, reaktives Sputtern usw.
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Sputter-Stromversorgung der MSD-Serie
Das DC-Sputternetzteil der MSD-Serie nutzt das DC-Kernsteuerungssystem des Unternehmens in Kombination mit einem hervorragenden Lichtbogenverarbeitungsschema, sodass das Produkt eine sehr stabile Leistung, hohe Produktzuverlässigkeit, geringe Lichtbogenschäden und gute Prozesswiederholbarkeit aufweist. Die Anzeigeoberfläche ist in Chinesisch und Englisch verfügbar und einfach zu bedienen.