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HF-Netzteil der RHH-Serie

Kurze Beschreibung:

Die HF-Stromversorgung der RHH-Serie basiert auf ausgereifter HF-Generierungstechnologie, um Kunden eine HF-Stromversorgung mit größerer Leistung, höherer Präzision und schneller Reaktion zu bieten.Mit Phaseneinstellung, Impulssteuerung, digitalem Tuning und weiteren Funktionen.Anwendbare Bereiche: Photovoltaikindustrie, Flachbildschirmindustrie, Halbleiterindustrie, chemische Industrie, Labor, wissenschaftliche Forschung, Fertigung usw.
Anwendbare Prozesse: plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), Plasmaätzen, Plasmareinigung, Hochfrequenz-Ionenquelle, Plasmadiffusion, Plasmapolymerisationssputtern, reaktives Sputtern usw.


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Merkmale

● Ausführungen zur Halbstein- und Rackmontage
● Übernehmen Sie die vollständige digitale Steuerung mit einem praktischen und umfangreichen Bedienmenü
● Frequenzabstimmungs-, Impuls- und Impulssynchronisationsfunktionen
● Mit CEX-Phasensynchronisationsfunktion
● Perfekte Schutzfunktion

Produktdetail

Eingang Eingangsspannung: AC220V ± 10 % 3ΦAC380 V ± 5 % (Spezielle Spezifikationen können angepasst werden)
Eingangsfrequenz: 47~63Hz
Ausgabe Ausgangsfrequenz: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Abstimmbereich: ±5 %
Ausgangsleistung: 1,5 ~ 5 kW
Regelbereich der Ausgangsleistung: 1~100 %
Ausgangsimpedanz: 50Ω+j0
Ausgangsschnittstelle: Typ N
Ausgabemodus: kontinuierlich, Impuls
Pulsfrequenz: 100 Hz ~ 100 kHz
Arbeitszyklus: 5~95 %
Leistungsindex Leistungsfaktor: 0,98
Genauigkeit der Frequenzstabilität: ±0,005 %
Wirkungsgrad: 75 % (bei Nennleistung)
Harmonisch: <-45 dBc
Streuung: <-50 dBc
Externe Steuerschnittstelle: analoge Menge, Kommunikation und Synchronisation
Kommunikationsmodus: Standard-RS485-Kommunikationsschnittstelle;Optional Ether CAT, Industrial Ethernet usw.
Hinweis: Das Produkt wird weiterhin innoviert und die Leistung verbessert sich weiter.Diese Parameterbeschreibung dient nur als Referenz.


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