HF-Netzteil der RHH-Serie

Ausgewähltes Bild der HF-Stromversorgung der RHH-Serie

Kurze Beschreibung:

Die HF-Stromversorgung der RHH-Serie basiert auf ausgereifter HF-Technologie und bietet Kunden HF-Stromversorgungen mit höherer Leistung, höherer Präzision und schneller Reaktion. Mit einstellbarer Phase, Impulssteuerung, digitaler Abstimmung und weiteren Funktionen. Anwendungsbereiche: Photovoltaikindustrie, Flachbildschirmindustrie, Halbleiterindustrie, chemische Industrie, Labor, wissenschaftliche Forschung, Fertigung usw.
Anwendbare Verfahren: plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), Plasmaätzen, Plasmareinigung, Hochfrequenz-Ionenquelle, Plasmadiffusion, Plasmapolymerisationssputtern, reaktives Sputtern usw.

Produktdetail

Produkt Tags

Senden Sie uns eine E-Mail

Merkmale

● Half-Brick- und Rackmontage-Ausführungen
● Vollständig digitale Steuerung mit praktischem und umfangreichem Bedienmenü
● Frequenzabstimmung, Impuls- und Impulssynchronisationsfunktionen
● Mit CEX-Phasensynchronisationsfunktion
● Perfekte Schutzfunktion

Produktdetail

Eingang	Eingangsspannung: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Sonderspezifikationen können angepasst werden)
Eingang	Eingangsfrequenz: 47~63Hz
Ausgabe	Ausgangsfrequenz: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Abstimmbereich: ±5 %
	Ausgangsleistung: 1,5 ~ 5 kW
	Regelungsbereich der Ausgangsleistung: 1~100%
	Ausgangsimpedanz: 50Ω+j0
	Ausgangsschnittstelle: Typ N
	Ausgabemodus: kontinuierlich, Impuls
	Pulsfrequenz: 100 Hz ~ 100 kHz
	Arbeitszyklus: 5~95%
Leistungsindex	Leistungsfaktor: 0,98
	Frequenzstabilitätsgenauigkeit: ±0,005 %
	Wirkungsgrad: 75 % (bei Nennleistung)
	Harmonische: ＜-45dBc
	Streuung: ＜-50dBc
	Externe Steuerschnittstelle: Analoge Größe, Kommunikation und Synchronisation
	Kommunikationsmodus: Standard-RS485-Kommunikationsschnittstelle; optional EtherCAT, Industrial Ethernet usw.
Hinweis: Das Produkt wird ständig weiterentwickelt und die Leistung verbessert. Diese Parameterbeschreibung dient nur als Referenz.