HF-Netzteil der RHH-Serie
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HF-Netzteil der RHH-Serie
Die HF-Stromversorgung der RHH-Serie basiert auf ausgereifter HF-Technologie und bietet Kunden HF-Stromversorgungen mit höherer Leistung, höherer Präzision und schneller Reaktion. Mit einstellbarer Phase, Impulssteuerung, digitaler Abstimmung und weiteren Funktionen. Anwendungsbereiche: Photovoltaikindustrie, Flachbildschirmindustrie, Halbleiterindustrie, chemische Industrie, Labor, wissenschaftliche Forschung, Fertigung usw.
Anwendbare Verfahren: plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), Plasmaätzen, Plasmareinigung, Hochfrequenz-Ionenquelle, Plasmadiffusion, Plasmapolymerisationssputtern, reaktives Sputtern usw.