Die HF-Stromversorgung der RHH-Serie basiert auf ausgereifter HF-Generierungstechnologie, um Kunden eine HF-Stromversorgung mit größerer Leistung, höherer Präzision und schneller Reaktion zu bieten.Mit Phaseneinstellung, Impulssteuerung, digitalem Tuning und weiteren Funktionen.Anwendbare Bereiche: Photovoltaikindustrie, Flachbildschirmindustrie, Halbleiterindustrie, chemische Industrie, Labor, wissenschaftliche Forschung, Fertigung usw.
Anwendbare Prozesse: plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), Plasmaätzen, Plasmareinigung, Hochfrequenz-Ionenquelle, Plasmadiffusion, Plasmapolymerisationssputtern, reaktives Sputtern usw.