Mittelfrequenz-Sputter-Netzteil der MSB-Serie

Kurze Beschreibung:

Die HF-Stromversorgung der RHH-Serie basiert auf ausgereifter HF-Generierungstechnologie, um Kunden eine HF-Stromversorgung mit größerer Leistung, höherer Präzision und schneller Reaktion zu bieten.Mit Phaseneinstellung, Impulssteuerung, digitalem Tuning und weiteren Funktionen.Anwendbare Bereiche: Photovoltaikindustrie, Flachbildschirmindustrie, Halbleiterindustrie, chemische Industrie, Labor, wissenschaftliche Forschung, Fertigung usw.

Anwendbare Prozesse: plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), Plasmaätzen, Plasmareinigung, Hochfrequenz-Ionenquelle, Plasmadiffusion, Plasmapolymerisationssputtern, reaktives Sputtern usw.

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Merkmale

● Half-Brick- und Rackmontage-Ausführungen

● Übernehmen Sie die vollständige digitale Steuerung mit einem praktischen und umfangreichen Bedienmenü

● Frequenzabstimmungs-, Impuls- und Impulssynchronisationsfunktionen

● Mit CEX-Phasensynchronisationsfunktion

● Perfekte Schutzfunktion

Produktdetail

Eingang	Eingangsspannung: AC220V ± 10 % 3ΦAC380 V ± 5 % (Spezielle Spezifikationen können angepasst werden)
Eingang	Eingangsfrequenz: 47~63Hz
Ausgabe	Ausgangsfrequenz: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Abstimmbereich: ±5 %
	Ausgangsleistung: 1,5 ~ 5 kW
	Regelbereich der Ausgangsleistung: 1~100 %
	Ausgangsimpedanz: 50Ω+j0
	Ausgangsschnittstelle: Typ N
	Ausgabemodus: kontinuierlich, Impuls
	Pulsfrequenz: 100 Hz ~ 100 kHz
	Arbeitszyklus: 5~95 %
Leistungsindex	Leistungsfaktor: 0,98
	Genauigkeit der Frequenzstabilität: ±0,005 %
	Wirkungsgrad: 75 % (bei Nennleistung)
	Harmonisch: <-45 dBc
	Streuung: <-50 dBc
	Externe Steuerschnittstelle: analoge Menge, Kommunikation und Synchronisation
	Kommunikationsmodus: Standard-RS485-Kommunikationsschnittstelle;Optional Ether CAT, Industrial Ethernet usw.
Hinweis: Das Produkt entwickelt sich ständig weiter und die Leistung verbessert sich weiter.Diese Parameterbeschreibung dient nur als Referenz.