Mittelfrequenz-Sputter-Netzteil der MSB-Serie
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Mittelfrequenz-Sputter-Netzteil der MSB-Serie
Die HF-Stromversorgung der RHH-Serie basiert auf ausgereifter HF-Generierungstechnologie, um Kunden eine HF-Stromversorgung mit größerer Leistung, höherer Präzision und schneller Reaktion zu bieten. Mit Phaseneinstellung, Impulssteuerung, digitalem Tuning und weiteren Funktionen. Anwendbare Bereiche: Photovoltaikindustrie, Flachbildschirmindustrie, Halbleiterindustrie, chemische Industrie, Labor, wissenschaftliche Forschung, Fertigung usw.
Anwendbare Prozesse: plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), Plasmaätzen, Plasmareinigung, Hochfrequenz-Ionenquelle, Plasmadiffusion, Plasmapolymerisationssputtern, reaktives Sputtern usw.